بلوک هدف تیتانیوم

ناخالصی در مواد جامد بلوک هدف تیتانیوم و اکسیژن و رطوبت در منافذ منابع اصلی آلودگی در فیلم های سپرده شده است. اهداف برای برنامه های مختلف برای محتوای مختلف ناخالصی نیازهای مختلفی دارند. به عنوان مثال ، اهداف آلیاژ آلومینیوم و آلومینیوم خالص برای صنعت نیمه هادی نیازهای ویژه ای برای محتوای فلزی قلیایی و محتوای عنصر رادیواکتیو دارند.

به منظور کاهش منافذ موجود در مواد جامد هدف و بهبود عملکرد فیلم های پراکنده ، معمولاً هدف لازم است تا چگالی بالایی داشته باشد. چگالی هدف نه تنها بر میزان لکه دار شدن تأثیر می گذارد ، بلکه بر خصوصیات الکتریکی و نوری فیلم نیز تأثیر می گذارد. هرچه تراکم هدف بالاتر باشد ، عملکرد فیلم بهتر می شود. علاوه بر این ، افزایش چگالی و استحکام هدف به هدف اجازه می دهد تا در برابر فشارهای حرارتی فرآیند لکه دار مقاومت کند. چگالی همچنین یکی از شاخص های اصلی عملکرد مواد هدف ، اندازه دانه و توزیع اندازه دانه است.
معمولاً هدف ساختار پلی کریستالی است ، اندازه دانه می تواند از میکرون تا میلی متر باشد. برای همان نوع هدف ، میزان لکه گیری هدف با دانه های ریز سریعتر از هدف با دانه های درشت است. و توزیع ضخامت فیلم که با لکه دار شدن هدف با اختلاف اندک در اندازه دانه (توزیع یکنواخت) رسوب می شود ، یکنواخت تر است.